光刻机到底有多复杂?美国工程师:一个零件需要调整数十年!

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  光刻机的制造难度,要比最复杂的机床还要难百倍,光刻机与机床最相似的地方就是他们对进度有着极高要求,机场加工一般要求是毫米级别。

  

  即便是很落后的光客机也要达到纳米级别的精度。是一毫米=100万纳米,所以光刻机的精度几乎是普通机床的百万倍。

  

  曾经有一位美国工程师指出一个零件就需要调整多达数10年之久,荷兰AMSL最先进的光刻机集成了大量来自德国,日本美国的技术。

  

  光刻机的光源设备主要来自美国公司,Cymer镜头来自德国蔡司,光科技的零件几乎都是定制90%使用了世界最先进的加工技术。

  

  甚至一些接口都要工程师用高精度机械进行打磨,尺寸调整次数可能达到百万次以上。如此困难的技术要求造成了功课及极低的产量,光科技技术基本上10年才会大更新一次。

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